直拉硅片

直拉硅片
產(chǎn)品詳情




















單晶硅是一種優(yōu)良的高純半導(dǎo)體材料,IC級(jí)別的純度要求達(dá)到9N以上(99.9999999%),區(qū)熔單晶硅片甚至達(dá)到11N(99.999999999%)以上。通常通過(guò)直拉法(CZ)和區(qū)熔法(FZ)長(zhǎng)晶得到,其晶向通過(guò)籽晶來(lái)決定。單晶硅是目前最重要的半導(dǎo)體材料,占據(jù)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)的90%以上,是信息技術(shù)和集成電路的基礎(chǔ)材料。


Diameter2"
3"
4"
5"
6"
8"
12"
GradePrime
Growth MethodCZ
Orientation<1-0-0>,<1-1-1>,<1-1-0>
Type/DopantP Type/Boron,N Type/Phos,N Type/As,N Type/Sb
Thichness (um)279
380525625675725775
Thichness ToleranceStandard ±25um, Maximum Capabilities ±5um± 20um
± 20um
Resistivity0.001-100 ohm-cm
Surface FinishedP/E,P/P,E/E,G/G
TTV (um)
Standard < 10um, Maximum Capabilities < 5um
Bow/Warp (um)Standard < 40um, Maximum Capabilities < 20um<40um
<40um
Particle

<10@0.5um; <10@0.3um; <10@0.2um



供應(yīng)產(chǎn)品
區(qū)熔硅片
化合物半導(dǎo)體
外延片
氧化片
單晶硅棒
直拉硅片
聯(lián) 系 我 們
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