晶圓切割機,在切割過程如何控制良品率?晶圓的成本以及能否量產最終取決于良率。晶圓的良率非常重要。在開發過程中,我們關注芯片的性能,但在量產階段必須要看良率,有時為了良率不得不降低性能。 ![]() 那么晶圓切割的良率是多少呢? 如何控制晶圓良率 很多半導體公司都有專門從事良率提升的工程師,晶圓代工廠有良率工程師專門負責良率提升(YE)部門負責提升晶圓良率,Fabless的運營部門有產品工程師(PE)負責負責提高成品率。由于領域不同,這些工程師的側重點也會不同。晶圓廠的良率工程師非常精通制造過程。他們主要使用公司的良率管理系統(YMS)對一些與工藝相關的數據進行良率分析。一般有以下幾種方法: 1)生產線在線缺陷掃描 2)過程監控測試數據(WAT) 3)生產線測量數據(Metrology) 4) 工具通用性 5)工藝規范 6)故障分析 對于實際生產線對于晶圓制造來說,監控每臺制造設備的穩定性是非常重要的。如上圖所示,可以由記錄設備的關鍵工藝產生,并積累一條隨生產時間變化的波段曲線,形成工藝精度控制的參數點。 最后,晶圓經過測試后,可以通過自動分揀機剔除有缺陷的芯片,也可以對性能參差不齊的芯片進行分揀,例如英特爾CPU晶圓,可以檢測出性能更好的芯片。 i7處理器芯片,幾乎做成了i5芯片,其實是媽媽生的,區別就是一個好看,一個丑。. 也有不同尺寸的晶圓。同一條生產線的良率會有所不同。小圓片的良率不一定要高于大圓片。這也與設備工藝的匹配程度有關。晶圓通常在邊緣區域具有最壞的裸片。因此,很多生產線都追求大尺寸晶圓,使得邊緣壞芯的比例相對較低。 但大尺寸晶圓面臨著應力、成膜等諸多先天問題。例如,前幾年半導體熱衷于10英寸和12英寸生產線,導致8英寸和6英寸生產線被放棄。甚至半導體設備制造商也沒有為小尺寸晶圓制造設備。 上一篇單晶硅片
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